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問題粒子
吸痕
晶圓划痕 -
擬議效果晶圓劃傷預防
晶圓翹曲對策
吸附疤痕抑制
提高產量
粒子測量 -
產品類別晶圓傳送手
客戶的疑慮和問題 / 之前
我們的建議及改善效果 / 完成後
傳統上，我們使用吸式轉移手，但我們提出了一種帶塗層的多孔嵌入手，以防止在晶圓上留下吸痕。
ASUZAC的多孔陶瓷孔徑為30~40μm，具有耐吸痕、耐晶圓划痕的特性。
通過客戶的使用，晶圓上不易留下吸附痕跡，有助於提高成品率。
建議示例的要點/要點
這個例子的重點是我們能夠通過改變傳遞手的類型來提高生產率，特別是在重要的過程中。
雖然改變運輸方式會帶來風險，但新技術的發展可能會帶來巨大的成果，例如日益發展的多孔陶瓷。在這種情況下，我們使用具有細孔徑的多孔陶瓷來防止劃傷。
ASUZAC Co., Ltd.的精細陶瓷事業部運營“陶瓷設計實驗室”，處理從材料開發和混合到設計和生產、表面處理、檢驗和清潔的所有事務。我們還可以建議材料的選擇，例如為陶瓷材料增加功能的原始塗層技術，具有耐熱性和導電性的陶瓷材料，以及高純度和防止污染的高純度氧化鋁和碳化矽。 。
如果您對現有晶圓轉移手有任何問題，請隨時與我們聯繫。
我們一直在尋找解決晶圓上粘痕問題的方法。
如果晶圓上有吸痕，會產生顆粒，降低成品率。