Φ300의 더미 웨이퍼(100g)를 다공질 척에 의해 부상시키고 있는 동영상입니다. 다공성 세라믹 전면에서 공기를 불어 넣음으로써 반송품을 비접촉으로 부상시킬 수 있습니다. 접촉에 의한 상처가 붙기 어려워집니다. >>다공질 척의 페이지는 이쪽
