수동으로 웨이퍼를 반송이나 반출하고 싶습니다.
가능합니다.
개선 사례로서, 핸드에 금속제의 암을 달아, 웨이퍼를 반송이나 반출에 사용해 주시고 있는 손님도 계십니다.
웨이퍼 두께나 휨량에 따라 바뀌지만, 당사의 베르누이 핸드나 다공질 핸드가 휨 웨이퍼 대책으로서 라인 업하고 있습니다. 웨이퍼를 맡겨 당사의 로봇 테스트 센터에서의 반송 테스트도 가능해지므로, 어려움이 있으시면 우선 문의해 주십시오.
다공성 척으로 종이와 일본 종이의 흡착은 어렵습니다. 표면에 요철이있는 소재이면 거기에서 누출되어 흡착하는 것이 어렵습니다. 예를 들면 흡기하고 있는 상태에서 워크를 다공질 척에 밀어붙이거나, 흡착 대상의 두께나 표면 상태에 따라서는 흡착 가능한 일도 있으므로, 데모기를 시험해 주세요.
파형이나 V형의 세터를 제안하겠습니다. V형 세터의 예에서는 외형 140mm×100mm, 두께 8mm, V자 각도 112.6°, 피치 120mm(P12×10)로 제작이 가능합니다. 파형이나 V형의 세터 위에 워크를 올려 소성하는 것으로, 세터와 워크의 반응을 최소한으로 억제할 수 있습니다.더미 웨이퍼로서는, 알루미나나 알시마(당사 오리지날 소재)로 제작 실적이 있습니다.
아르시마는 비중이 2.41g/cm^3로 실리콘 웨이퍼의 비중과 가깝기 때문에 취급하기 쉬운 소재로 되어 있습니다.
각각 고객의 이용에 맞추어 각 인치마다 제작 가능하며, 두께도 0.3mm나 0.7mm 등 필요한 사이즈를 제작합니다.
