반도체 업계가 요구하는 미량 원소의 분석·평가를 실시하는 장치입니다. 극미량의 오염을 회피하기 위해 클린 룸에서 철저하게 관리하고 있으며, 세정 품질이나 제품 사용 후 트레이스 메탈 분석 등 수백 ppm ~ 서브 ppb 수준의 고급 분석이 가능합니다.
