通過將晶圓傳送手持部分改造為 PAD 來降低成本

本事例のポイントは、搬送ハンド自体を交換しなくてもいいよう、保持部を脱着可能なPADに置き換えることで交換コストを大幅に低減した点にあります。

一体加工に比べると初期コストは多少かかってしまいますが、ランニングコストを考慮するとPADにした方がコストを抑えられます。

「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。

ウエハ搬送ハンドの形状設計やコストダウンにお困りの方は、お気軽にご相談ください。