VA / VE 提案示例
我們提出了 PAD 型吸附手，現在甚至可以輸送翹曲的晶圓。
在運輸過程中沒有發生任何錯誤，我們能夠為穩定的設備運行做出貢獻。
這個案例的重點是我們能夠最大限度地減少翹曲晶圓的負面影響。
翹曲的晶圓通常難以運輸，需要停工和更換人工。
ASUZAC Co., Ltd.的精密陶瓷事業部運營“陶瓷設計實驗室”，處理從材料開發和混合到設計和生產、表面處理、檢驗和清潔.增加.我們還可以建議材料的選擇，例如為陶瓷材料增加功能的原始塗層技術，具有耐熱性和導電性的陶瓷材料，以及高純度和防止污染的高純度氧化鋁和碳化矽。 。
如果您對晶圓翹曲有任何疑問，請隨時與我們聯繫。
成本
粒子
電導率
吸痕
靜電
靜電對策的PAD提案
按產品類別： 晶圓傳送手PAD
按提案成果： 晶圓劃傷預防晶圓翹曲對策靜電對策減少不良率
通過將晶圓傳送手持部分改造為 PAD 來降低成本
按產品類別： 晶圓傳送手PAD
按提案成果： 減少工時降低成本改進的功能提高生產力耐磨性
高溫下靜電擴散效果優異的晶圓搬運手提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 改進的功能靜電對策表面電阻值控制
晶圓搬運手的靜電和放氣對策
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 提高耐熱性靜電對策表面電阻值控制抑制放氣
塗層變化降低靜電擴散手不良率
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 污染措施靜電對策防電火花減少不良率
大型偏光フィルムの吸着
翹曲的晶圓
靜電對策的PAD提案
按產品類別： 晶圓傳送手PAD
按提案成果： 晶圓劃傷預防晶圓翹曲對策靜電對策減少不良率
Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 晶圓翹曲對策防止錯位改進的功能
可夾持翹曲晶圓並防止錯位的伯努利手提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 晶圓翹曲對策防止錯位改進的功能提高產量
可吸附搬運翹曲晶圓的帶PAD手的提案
按產品類別： 晶圓傳送手PAD
按提案成果： 晶圓翹曲對策提高生產率（提高吞吐量）
生產率（吞吐量）
晶圓划痕
產品更換工時
可單手吸附和漂浮晶圓的傳送手的提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 減少工時降低成本改進的功能提高生產力
通過將晶圓傳送手持部分改造為 PAD 來降低成本
按產品類別： 晶圓傳送手PAD
按提案成果： 減少工時降低成本改進的功能提高生產力耐磨性
氧化鋁保護罩降低了 CVD 設備加熱器部件的更換頻率
按產品類別： 氧化鋁蓋
按提案成果： 減少工時降低成本提高生產力
將傳感器安裝到晶圓傳送手的提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 提高生產率（提高吞吐量）改進的功能
提出陶瓷耐磨樹脂製品的解決方案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 提高耐磨性提高生產率（提高吞吐量）減少工時降低成本
雙面吸附多孔吸盤提案
按產品類別： 多孔卡盤
按提案成果： 提高生產率（提高吞吐量）減少工時降低成本改進的功能
晶圓貼合
透氣性
錯位
成品率
接觸損壞
產品壽命
粉塵產生
耐熱
磨耗
功能性
薄ウェハ
提高耐磨性
改進的功能
Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 晶圓翹曲對策防止錯位改進的功能
可夾持翹曲晶圓並防止錯位的伯努利手提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 晶圓翹曲對策防止錯位改進的功能提高產量
便攜式晶圓搬運手提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 改進的功能可移植性
可單手吸附和漂浮晶圓的傳送手的提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 減少工時降低成本改進的功能提高生產力
通過將晶圓傳送手持部分改造為 PAD 來降低成本
按產品類別： 晶圓傳送手PAD
按提案成果： 減少工時降低成本改進的功能提高生產力耐磨性
對工件的影響小且透氣性好的多孔定位器的提案
按產品類別： 燒結用陶瓷墊板
按提案成果： 抑制接觸損傷改進的功能減少不良率提高產量
高溫下靜電擴散效果優異的晶圓搬運手提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 改進的功能靜電對策表面電阻值控制
將傳感器安裝到晶圓傳送手的提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 提高生產率（提高吞吐量）改進的功能
雙面吸附多孔吸盤提案
按產品類別： 多孔卡盤
按提案成果： 提高生產率（提高吞吐量）減少工時降低成本改進的功能
晶圓劃傷預防
靜電對策
提高耐熱性
晶圓翹曲對策
靜電對策的PAD提案
按產品類別： 晶圓傳送手PAD
按提案成果： 晶圓劃傷預防晶圓翹曲對策靜電對策減少不良率
Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 晶圓翹曲對策防止錯位改進的功能
可夾持翹曲晶圓並防止錯位的伯努利手提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 晶圓翹曲對策防止錯位改進的功能提高產量
可吸附搬運翹曲晶圓的帶PAD手的提案
按產品類別： 晶圓傳送手PAD
按提案成果： 晶圓翹曲對策提高生產率（提高吞吐量）
翹曲/薄晶圓移送手提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 晶圓劃傷預防晶圓翹曲對策吸附疤痕抑制提高產量粒子測量
提高生產力
防止錯位
減少不良率
提高生產率（提高吞吐量）
可防止金屬污染的特殊處理產品提案
按產品類別： 其他
按提案成果： 提高耐化學性提高生產率（提高吞吐量）減少工時長壽金屬污染對策粒子測量
將傳感器安裝到晶圓傳送手的提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 提高生產率（提高吞吐量）改進的功能
提出陶瓷耐磨樹脂製品的解決方案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 提高耐磨性提高生產率（提高吞吐量）減少工時降低成本
可吸附搬運翹曲晶圓的帶PAD手的提案
按產品類別： 晶圓傳送手PAD
按提案成果： 晶圓翹曲對策提高生產率（提高吞吐量）
雙面吸附多孔吸盤提案
按產品類別： 多孔卡盤
按提案成果： 提高生產率（提高吞吐量）減少工時降低成本改進的功能
大型偏光フィルムの吸着が可能な500角の大型多孔質チャックのご提案
按產品類別： 多孔卡盤
按提案成果： 應變抑制提高生產率（提高吞吐量）吸附疤痕抑制ワークの傷防止
抑制接觸損傷
提高產量
減少工時
可防止金屬污染的特殊處理產品提案
按產品類別： 其他
按提案成果： 提高耐化學性提高生產率（提高吞吐量）減少工時長壽金屬污染對策粒子測量
可單手吸附和漂浮晶圓的傳送手的提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 減少工時降低成本改進的功能提高生產力
通過將晶圓傳送手持部分改造為 PAD 來降低成本
按產品類別： 晶圓傳送手PAD
按提案成果： 減少工時降低成本改進的功能提高生產力耐磨性
氧化鋁保護罩降低了 CVD 設備加熱器部件的更換頻率
按產品類別： 氧化鋁蓋
按提案成果： 減少工時降低成本提高生產力
提出陶瓷耐磨樹脂製品的解決方案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 提高耐磨性提高生產率（提高吞吐量）減少工時降低成本
吸手腔一體化方案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 提高耐熱性減少工時長壽降低成本抑制放氣
雙面吸附多孔吸盤提案
按產品類別： 多孔卡盤
按提案成果： 提高生產率（提高吞吐量）減少工時降低成本改進的功能
表面電阻值控制
粒子測量
吸附疤痕抑制
抑制放氣
應變抑制
長壽
ワークの傷防止
污染措施
降低成本
可單手吸附和漂浮晶圓的傳送手的提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 減少工時降低成本改進的功能提高生產力
通過將晶圓傳送手持部分改造為 PAD 來降低成本
按產品類別： 晶圓傳送手PAD
按提案成果： 減少工時降低成本改進的功能提高生產力耐磨性
氧化鋁保護罩降低了 CVD 設備加熱器部件的更換頻率
按產品類別： 氧化鋁蓋
按提案成果： 減少工時降低成本提高生產力
提出陶瓷耐磨樹脂製品的解決方案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 提高耐磨性提高生產率（提高吞吐量）減少工時降低成本
陶瓷成膜提案
按產品類別： 其他
按提案成果： 應變抑制降低成本減少不良率
吸手腔一體化方案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 提高耐熱性減少工時長壽降低成本抑制放氣
雙面吸附多孔吸盤提案
按產品類別： 多孔卡盤
按提案成果： 提高生產率（提高吞吐量）減少工時降低成本改進的功能
晶圓傳送手
靜電對策的PAD提案
按產品類別： 晶圓傳送手PAD
按提案成果： 晶圓劃傷預防晶圓翹曲對策靜電對策減少不良率
通過將晶圓傳送手的材料從金屬更改為導電陶瓷來減少接觸損壞
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 抑制接觸損傷磨損保護污染措施
Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 晶圓翹曲對策防止錯位改進的功能
可夾持翹曲晶圓並防止錯位的伯努利手提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 晶圓翹曲對策防止錯位改進的功能提高產量
便攜式晶圓搬運手提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 改進的功能可移植性
可單手吸附和漂浮晶圓的傳送手的提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 減少工時降低成本改進的功能提高生產力
通過將晶圓傳送手持部分改造為 PAD 來降低成本
按產品類別： 晶圓傳送手PAD
按提案成果： 減少工時降低成本改進的功能提高生產力耐磨性
高溫下靜電擴散效果優異的晶圓搬運手提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 改進的功能靜電對策表面電阻值控制
將傳感器安裝到晶圓傳送手的提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 提高生產率（提高吞吐量）改進的功能
多孔卡盤
PAD
在搬運翹曲的晶圓時，我們收到了無法用普通吸附手搬運的諮詢。他們表示，在運輸翹曲的晶圓時經常會出現錯誤，導致生產率下降。