VA / VE 提案示例

CERAMICS DESIGN LAB > 通過將晶圓傳送手的材料從金屬更改為導電陶瓷來減少接觸損壞

通過將晶圓傳送手的材料從金屬更改為導電陶瓷來減少接觸損壞

  • 問題
    接觸損壞
    粉塵產生
    磨耗
  • 擬議效果
    抑制接觸損傷
    磨損保護
    污染措施
  • 產品類別
    晶圓傳送手

客戶的疑慮和問題 / 之前

來自半導體檢測設備和運輸設備製造商的客戶,“我們在 CVD/蝕刻過程中使用金屬運輸手來運輸晶圓,但由於矽晶圓的划痕和破損,我們遇到了麻煩接觸損壞,你有什麼好的對策嗎?

我們的建議及改善效果 / 完成後

因此,在“陶瓷設計實驗室”,我們提出了一種由具有與硅相同硬度的導電陶瓷(Colseed,我公司開發的材料)製成的晶圓轉移手。

因此,晶圓因接觸損傷而產生的磨損、劃傷、破損、粉塵的產生可大幅減少,從而降低不良率。

此外,由於採用導電陶瓷,具有與金屬相同的導電性,不需要導電塗層。

  • 通過將晶圓傳送手的材料從金屬更改為導電陶瓷來減少接觸損壞|Ceramics Design Lab
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建議示例的要點/要點

此示例的要點是,通過將晶圓傳送手的材料從金屬更換為陶瓷材料(其硬度與硅具有相同的硬度),減少了接觸損壞。

ASUZAC Co., Ltd.的精細陶瓷事業部運營“陶瓷設計實驗室”,處理從材料開發和混合到設計和生產、表面處理、檢驗和清潔的所有事務。我們還可以建議材料的選擇,例如為陶瓷材料增加功能的原始塗層技術,具有耐熱性和導電性的陶瓷材料,以及高純度和防止污染的高純度氧化鋁和碳化矽。 。

如果您正在考慮將材料從金屬或樹脂產品更改為陶瓷,或者如果您在傳送手和晶圓之間的接觸方面遇到問題,請隨時與我們聯繫。

從陶瓷材料加工到開發始終如一的支持!

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營業時間:9:00~17:00(星期六、星期日、節假日休息)

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