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問題放氣
耐熱
電導率
靜電 -
擬議效果提高耐熱性
靜電對策
表面電阻值控制
抑制放氣 -
產品類別晶圓傳送手
客戶的疑慮和問題 / 之前
我們的建議及改善效果 / 完成後
在ASUZAC獨創的塗層ADB膜的提案和評估後,我們能夠滿足所有要求。 ADB膜即使在高溫下也具有低表面電阻,並具有靜電擴散作用。它還具有很高的耐用性,可以長時間連續使用。幾乎沒有脫氣,即使在新工藝中也能安心使用。
建議示例的要點/要點
這個例子的重點是通過選擇最佳塗層很容易適應新的工藝環境。
ASUZAC以半導體製造行業為中心,不斷開發尖端陶瓷技術,並提供解決脫氣措施等問題的解決方案。
ASUZAC Co., Ltd.的精細陶瓷事業部運營“陶瓷設計實驗室”,處理從材料開發和混合到設計和生產、表面處理、檢驗和清潔的所有事務。我們還可以建議材料的選擇,例如為陶瓷材料增加功能的原始塗層技術,具有耐熱性和導電性的陶瓷材料,以及高純度和防止污染的高純度氧化鋁和碳化矽。 。
如果您對現有晶圓轉移手有任何問題,請隨時與我們聯繫。
在新開發的工藝中,需要一種在高溫下不會產生脫氣的導電轉移手。
在以往的導電性氟樹脂塗料規格中,從塗料材料的角度考慮了放氣問題,但難以找到合適的塗料。