VA / VE 提案示例

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對工件的影響小且透氣性好的多孔定位器的提案

  • 問題
    透氣性
    接觸損壞
    成品率
  • 擬議效果
    抑制接觸損傷
    改進的功能
    減少不良率
    提高產量
  • 產品類別
    燒結用陶瓷墊板

客戶的疑慮和問題 / 之前

一位使用setter進行燒製的半導體器件製造商的客戶問我,“有沒有一種材料透氣性好,對工件影響小,熱處理時氣體可以逸出?”我們諮詢了我們的公司,該公司還開發材料。

我們的建議及改善效果 / 完成後

在“陶瓷設計實驗室”,我們提出了AZP50,一種孔徑小、透氣性好的多孔材料。

根據客戶的評價,我們確認在熱處理過程中透氣性得到改善,對工件的影響得到抑制。

  • 對工件的影響小且透氣性好的多孔定位器的提案|Ceramics Design Lab
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建議示例的要點/要點

這個例子的重點是我們能夠通過選擇具有良好透氣性的多孔材料作為點火裝置的材料來抑制對工作的影響。

為了降低殘餘應力,熱處理過程中的脫氣非常重要。氧化鋁基多孔陶瓷AZP50最初由“陶瓷設計實驗室”開發,是一種孔隙率為50%、透氣性極佳的材料。我們還提供 AZP60,它具有更高的透氣性和更高的吸附能力。

ASUZAC Co., Ltd.的精細陶瓷事業部運營“陶瓷設計實驗室”,處理從材料開發和混合到設計和生產、表面處理、檢驗和清潔的所有事務。我們還可以建議材料的選擇,例如為陶瓷材料增加功能的原始塗層技術,具有耐熱性和導電性的陶瓷材料,以及高純度和防止污染的高純度氧化鋁和碳化矽。 。

如果您對燒製夾具的材料選擇有任何疑問,請隨時與我們聯繫。

從陶瓷材料加工到開發始終如一的支持!

隨意地請聯繫我們!

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營業時間:9:00~17:00(星期六、星期日、節假日休息)

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薄ウェハ

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  • 提高耐熱性
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  • 減少工時
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  • 磨損保護
  • 粒子測量
  • 吸附疤痕抑制
  • 抑制放氣
  • 應變抑制
  • 改善等離子抗性
  • 長壽
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  • 污染措施
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改進的功能

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  • 燒結用陶瓷墊板
  • 多孔卡盤
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  • 其他

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