VA / VE 提案示例

CERAMICS DESIGN LAB > 可單手吸附和漂浮晶圓的傳送手的提案

可單手吸附和漂浮晶圓的傳送手的提案

  • 問題
    產品更換工時
    功能性
  • 擬議效果
    減少工時
    降低成本
    改進的功能
    提高生產力
  • 產品類別
    晶圓傳送手

客戶的疑慮和問題 / 之前

來自半導體製造設備製造商的客戶,“我們在後處理、檢查和清潔過程中使用了幾種類型的晶圓轉移手,但更換它們很麻煩,我沒有什麼好的建議。是嗎? “我接受了諮詢。

我們的建議及改善效果 / 完成後

因此,在“陶瓷設計實驗室”,我們提出了一種具有集成腔體的多功能手,可以用一個傳送手來拾取和懸浮晶圓。

懸浮是根據伯努利方法設計的。使用單個傳送手拾取和漂浮晶圓的能力使得減少更換傳送手所需的工時數成為可能,這也導致成本降低。

  • 可單手吸附和漂浮晶圓的傳送手的提案|Ceramics Design Lab
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建議示例的要點/要點

本例的重點是將需要更換工時和成本的不同搬運方式的多晶圓搬運手更換為兼具吸附和浮動功能的多功能手,從而減少工時重點是實現了減量和降本。

根據搬運物(晶圓、薄膜等)的不同,有適合吸附方式的情況,也有適合懸浮非接觸保持的情況。選擇。

ASUZAC Co., Ltd.的精細陶瓷事業部運營“陶瓷設計實驗室”,處理從材料開發和混合到設計和生產、表面處理、檢驗和清潔的所有事務。我們還可以建議材料的選擇,例如為陶瓷材料增加功能的原始塗層技術,具有耐熱性和導電性的陶瓷材料,以及高純度和防止污染的高純度氧化鋁和碳化矽。 。

如果您對轉移指針的成本或更換工時有任何疑問,請隨時與我們聯繫。

從陶瓷材料加工到開發始終如一的支持!

隨意地請聯繫我們!

TEL +81-26-248-1626

營業時間:9:00~17:00(星期六、星期日、節假日休息)

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  • 吸痕
  • 靜電
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  • 晶圓划痕
  • 產品更換工時
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  • 堵塞
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  • 不良率
  • 耐熱
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  • 磨耗
  • 功能性
  • 耐化學性
  • 耐腐蝕性能
  • 薄ウェハ

薄ウェハ

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  • 耐磨性
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  • 減少工時
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  • 磨損保護
  • 粒子測量
  • 吸附疤痕抑制
  • 抑制放氣
  • 應變抑制
  • 改善等離子抗性
  • 長壽
  • ワークの傷防止
  • 污染措施
  • 降低成本

改進的功能

  • 晶圓傳送手
  • 燒結用陶瓷墊板
  • 多孔卡盤
  • 氧化鋁蓋
  • PAD
  • 其他

晶圓傳送手

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