SiC 탄화규소(AZPS40) 다공질 척의 흡착 동영상입니다. AZPS40은얇은 필름의 흡착이 우수합니다. 또한,열충격・내약품성이 뛰어납니다.정전기 제거 정도의 도전성이 있습니다. 부분 흡착이 가능합니다. >>다공질 척의 페이지는 이쪽