베르누이 핸드(LeviZac) 12인치 반송 동영상

12인치 베르누이 핸드（LeviZac）의 웨이퍼 반송 동영상입니다. 4 개소의 분출 구멍으로부터 에어를 분출하는 것으로 웨이퍼를 유지하고 있습니다. 웨이퍼는, 외주 3 mm정도의 4개소의 가이드로 유지하고 있습니다. 베르누이 핸드(LeviZac)를 회전시켜도 웨이퍼를 유지할 수 있습니다. 위에서 웨이퍼를 흡입하면서 반송할 수 있습니다.

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