웨이퍼의 반송 로봇이 있기 때문에 반송 테스트가 가능합니다. 예로서, 반송 중의 진동 확인, 반송 횟수에 따른 웨이퍼의 위치 어긋남(반복 정밀도)의 계측, 웨이퍼 이면에 흠집이 생기는 방법의 확인 등. 고객과의 협의 중 추가 대응도 가능합니다. 자세한 내용은 문의하시기 바랍니다.
