【効果検証】静電拡散膜コーティングによるウエハへの糸くず付着軽減

ウエハ搬送ハンドにおいて、表面へのゴミの付着は看過できない問題です。付着ゴミの原因となるのは、ハンド表面の帯電（静電気）による付着です。今回は、ゴミ付着対策となるソリューションについて試験データを用いて解説します。

静電拡散膜による糸くず付着軽減効果検証

いつもお世話になり、ありがとうございます。

アスザックの中澤です。

今回はアスザックの開発するコーティング技術についてご紹介します。

搬送ハンドにおいて、表面へのゴミの付着は看過できない問題です。

付着してしまったゴミはウエハー、次工程への悪影響を与え、歩留まりの悪化を招きます。

ハンドの付着ゴミの原因となるのは、ハンド表面の帯電（静電気）による付着です。

アスザックはハンドに付きまとうこの課題に対して長年研究開発を続けており、ゴミ付着対策となるソリューションをご提供しています。

静電拡散膜による糸くず付着軽減効果検証

試験内容

未コート品、アスザックの静電拡散膜コーティング（以下 ADC膜、ADB膜）を2種類施したハンドについて、ウエスでふき取りをしたときに、糸くずがどの程度付着するか、試験を行いました。
※ADC膜(白色)とADB膜(黒色)の2種類ラインナップしております

使用したウエス

糸くずが出やすい粗目のウエスを使用

糸くずの付着を確認

ウエスでふき取り後、表面をブロー、糸くずの付着を確認します。
※光っている箇所が糸くず

100回試行した試験結果

未コート品

ADC膜（白コート）

ADB膜（黒コート）

この結果の通り、未コート品と比較してADC膜、ADB膜を施したハンドは糸くずの付着が大きく減っていることが分かります。

未コート品　→　96個

白コート　　→　14個

黒コート　　→　22個

アスザックの静電拡散膜を活用いただくことで、メンテナンス頻度の削減、歩留まりの向上の役立ちます。

この静電拡散アルミナ膜についてはホームページで原理等について詳しくご紹介しております。ぜひこちらもご覧ください。

ADC膜、ADB膜を「一度試してみたい」「もう少し話を聞きたい」方はお気軽にアスザックにご相談ください。

また搬送ハンド、セラミックパーツについてもお気軽に相談ください。

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