12インチ トレイ式ハンド（UniZac-Obon®）のウエハ搬送動画です。ウエハ底面の外周と側面の一部でウエハを保持し、搬送しています。金属のハンドに比べて、たわみが少ないことが特徴です。大気と真空の両方の環境で使用が可能です。 >>トレイ式ハンド（UniZac-Obon®）のページはこちら
