設計提案案例

氧化鋁保護罩降低了 CVD 設備加熱器部件的更換頻率

按產品類別： 氧化鋁蓋

按提案成果： 減少工時,降低成本,提高生產力

通過將晶圓傳送手持部分改造為 PAD 來降低成本

按產品類別： 晶圓傳送手PAD

按提案成果： 減少工時,降低成本,改進的功能,提高生產力,耐磨性

可單手吸附和漂浮晶圓的傳送手的提案

按產品類別： 晶圓傳送手

按提案成果： 減少工時,降低成本,改進的功能,提高生產力

可防止金屬污染的特殊處理產品提案

按產品類別： 其他

按提案成果： 提高耐化學性,提高生產率（提高吞吐量）,減少工時,長壽,金屬污染對策,粒子測量

雙面吸附多孔吸盤提案

按產品類別： 多孔卡盤

按提案成果： 提高生產率（提高吞吐量）,減少工時,降低成本,改進的功能

吸手腔一體化方案

按產品類別： 晶圓傳送手

按提案成果： 提高耐熱性,減少工時,長壽,降低成本,抑制放氣

提出陶瓷耐磨樹脂製品的解決方案

按產品類別： 晶圓傳送手

按提案成果： 提高耐磨性,提高生產率（提高吞吐量）,減少工時,降低成本