塗層變化降低靜電擴散手不良率

這個例子的要點是通過防靜電措施大大減少了雜質的附著量。

靜電產生的火花導致雜質附著，造成晶圓劃傷、翹曲等問題。作為這個問題的對策，除了塗敷導電塗層外，還有使用不需要塗層的導電陶瓷材料，因為材料本身是導電的。

ASUZAC Co., Ltd. 的精細陶瓷事業部運營“陶瓷設計實驗室”，處理從材料開發和混合到設計、生產、表面處理、檢驗和清潔的所有事務。我們還可以建議材料的選擇，例如為陶瓷材料增加功能的原始塗層技術，具有耐熱性和導電性的陶瓷材料，以及高純度和防止污染的高純度氧化鋁和碳化矽。 。

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