VA / VE 提案示例

CERAMICS DESIGN LAB > 塗層變化降低靜電擴散手不良率

塗層變化降低靜電擴散手不良率

  • 問題
    雜質
    靜電
    火花
    棉絨的附著力
  • 擬議效果
    污染措施
    靜電對策
    防電火花
    減少不良率
  • 產品類別
    晶圓傳送手

客戶的疑慮和問題 / 之前

客戶清潔晶圓轉移手時,抹布上的絨毛粘附在表面,導致良率下降。

我們的建議及改善效果 / 完成後

因此,“陶瓷設計實驗室”提議用我們獨特的塗層技術為氧化鋁增加導電性的晶圓傳送手進行替代。

結果,由於採取了靜電對策並改善了表面粗糙度,使棉絨等雜質不易附著,從而降低了次品率。

  • 塗層變化降低靜電擴散手不良率|Ceramics Design Lab
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建議示例的要點/要點

這個例子的要點是通過防靜電措施大大減少了雜質的附著量。

靜電產生的火花導致雜質附著,造成晶圓劃傷、翹曲等問題。作為這個問題的對策,除了塗敷導電塗層外,還有使用不需要塗層的導電陶瓷材料,因為材料本身是導電的。

ASUZAC Co., Ltd. 的精細陶瓷事業部運營“陶瓷設計實驗室”,處理從材料開發和混合到設計、生產、表面處理、檢驗和清潔的所有事務。我們還可以建議材料的選擇,例如為陶瓷材料增加功能的原始塗層技術,具有耐熱性和導電性的陶瓷材料,以及高純度和防止污染的高純度氧化鋁和碳化矽。 。

如果您對現有的晶圓轉移手有任何問題,請隨時與我們聯繫。

從陶瓷材料加工到開發始終如一的支持!

隨意地請聯繫我們!

TEL +81-26-248-1626

營業時間:9:00~17:00(星期六、星期日、節假日休息)

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薄ウェハ

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  • 其他

晶圓傳送手

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