我們想介紹一下我們為包括設備製造商在內的各個行業的客戶提供的陶瓷零件。
大型偏光フィルムの吸着が可能な500角の大型多孔質チャックのご提案
按產品類別: 多孔卡盤
按提案成果: 應變抑制,提高生產率(提高吞吐量),吸附疤痕抑制,ワークの傷防止
パワー半導体向け薄反りウエハの保持・吸着が可能な多孔質埋め込みハンドのご提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 晶圓劃傷預防,吸附疤痕抑制
Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 晶圓翹曲對策,防止錯位,改進的功能
塗層變化降低靜電擴散手不良率
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 污染措施,靜電對策,防電火花,減少不良率
對工件的影響小且透氣性好的多孔定位器的提案
按產品類別: 燒結用陶瓷墊板
按提案成果: 抑制接觸損傷,改進的功能,減少不良率,提高產量
氧化鋁保護罩降低了 CVD 設備加熱器部件的更換頻率
按產品類別: 氧化鋁蓋
按提案成果: 減少工時,降低成本,提高生產力
通過將晶圓傳送手持部分改造為 PAD 來降低成本
按產品類別: 晶圓傳送手PAD
按提案成果: 減少工時,降低成本,改進的功能,提高生產力,耐磨性
可單手吸附和漂浮晶圓的傳送手的提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 減少工時,降低成本,改進的功能,提高生產力
便攜式晶圓搬運手提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 改進的功能,可移植性
可防止金屬污染的特殊處理產品提案
按產品類別: 其他
按提案成果: 提高耐化學性,提高生產率(提高吞吐量),減少工時,長壽,金屬污染對策,粒子測量
可夾持翹曲晶圓並防止錯位的伯努利手提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 晶圓翹曲對策,防止錯位,改進的功能,提高產量
通過將晶圓傳送手的材料從金屬更改為導電陶瓷來減少接觸損壞
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 抑制接觸損傷,磨損保護,污染措施