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多孔質埋め込みハンド UniZac-Pairの資料

薄ウエハに対して、平滑面で吸着が可能です。ウエハを面で受けるため、吸着痕が付きにくいです。

アスザックが開発した2段空洞一体成型搬送ハンドは、ハンド内部の空洞を2段に独立して製作したハンドです。

表面と裏面でウエハの吸着ができるので、1本の搬送ハンドで、異なる仕様のウエハが吸着できます。

段取り時間の短縮にいかがでしょうか。

厚さ1.2 mmの薄型化を実現しました。フラット形状や段付き仕様でのご提案が可能です。段付き仕様は、反ったウエハを吸着できます。カセットへの接触を減らすことができ、歩留まり改善や生産性向上に貢献いたします。

UniZac-Obon®は、大気中や真空中で使用するトレー(ウエハ落とし込み)式セラミックスハンドです。

空洞一体型搬送ハンド UniZac-air®は、独自の空洞一体技術で、耐久性と耐熱性を向上させた当社オリジナルのハンドです。金属製比べ、高強度でたわみが少ないハンドです。

アスザックが開発した外周3 mm吸着式標準ハンドPeriZac®は、ウエハ外周3mm以内での吸着が可能です。空洞一体型ハンドのため、薄型化や軽量化が可能です。

アスザックが開発したベルヌーイハンドLeviZac®は、総厚2 mm(ハンドの厚み1.5 mm、ウエハを保持するPADの厚み0.5 mm)です。狭いカセットピッチへウエハを搬送する際に最適です。

這是阿斯紮克為 PLP 工藝開發的輕型大型氧化鋁手的介紹傳單.與傳統產品相比,它具有更高的剛度和 20% 以上的重量.

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