パワー半導体向け薄反りウエハの保持・吸着が可能な多孔質埋め込みハンドのご提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 晶圓劃傷預防,吸附疤痕抑制
Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 晶圓翹曲對策,防止錯位,改進的功能
塗層變化降低靜電擴散手不良率
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 污染措施,靜電對策,防電火花,減少不良率
通過將晶圓傳送手持部分改造為 PAD 來降低成本
按產品類別: 晶圓傳送手PAD
按提案成果: 減少工時,降低成本,改進的功能,提高生產力,耐磨性
可單手吸附和漂浮晶圓的傳送手的提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 減少工時,降低成本,改進的功能,提高生產力
便攜式晶圓搬運手提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 改進的功能,可移植性
可夾持翹曲晶圓並防止錯位的伯努利手提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 晶圓翹曲對策,防止錯位,改進的功能,提高產量
通過將晶圓傳送手的材料從金屬更改為導電陶瓷來減少接觸損壞
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 抑制接觸損傷,磨損保護,污染措施
高溫下靜電擴散效果優異的晶圓搬運手提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 改進的功能,靜電對策,表面電阻值控制
將傳感器安裝到晶圓傳送手的提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 提高生產率(提高吞吐量),改進的功能
通過PAD表面處理防止晶圓粘附問題的提案
按產品類別: 晶圓傳送手PAD
按提案成果: 晶圓劃傷預防,防止錯位,抑制接觸損傷,提高產量
翹曲/薄晶圓移送手提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 晶圓劃傷預防,晶圓翹曲對策,吸附疤痕抑制,提高產量,粒子測量