對工件的影響小且透氣性好的多孔定位器的提案
按產品類別: 燒結用陶瓷墊板
按提案成果: 抑制接觸損傷,改進的功能,減少不良率,提高產量
可夾持翹曲晶圓並防止錯位的伯努利手提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 晶圓翹曲對策,防止錯位,改進的功能,提高產量
通過PAD表面處理防止晶圓粘附問題的提案
按產品類別: 晶圓傳送手PAD
按提案成果: 晶圓劃傷預防,防止錯位,抑制接觸損傷,提高產量
翹曲/薄晶圓移送手提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 晶圓劃傷預防,晶圓翹曲對策,吸附疤痕抑制,提高產量,粒子測量