Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 晶圓翹曲對策,防止錯位,改進的功能
對工件的影響小且透氣性好的多孔定位器的提案
按產品類別: 燒結用陶瓷墊板
按提案成果: 抑制接觸損傷,改進的功能,減少不良率,提高產量
通過將晶圓傳送手持部分改造為 PAD 來降低成本
按產品類別: 晶圓傳送手PAD
按提案成果: 減少工時,降低成本,改進的功能,提高生產力,耐磨性
可單手吸附和漂浮晶圓的傳送手的提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 減少工時,降低成本,改進的功能,提高生產力
便攜式晶圓搬運手提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 改進的功能,可移植性
可夾持翹曲晶圓並防止錯位的伯努利手提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 晶圓翹曲對策,防止錯位,改進的功能,提高產量
高溫下靜電擴散效果優異的晶圓搬運手提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 改進的功能,靜電對策,表面電阻值控制
將傳感器安裝到晶圓傳送手的提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 提高生產率(提高吞吐量),改進的功能
雙面吸附多孔吸盤提案
按產品類別: 多孔卡盤
按提案成果: 提高生產率(提高吞吐量),減少工時,降低成本,改進的功能