圖面下載
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(利維薩克 12 寸)
Wafer 可固定在外周 3mm 以內
(利維薩克 8寸)
Wafer 可固定在外周 3mm 以內
(I 形狀 LeviZac4寸)
8 個Guide允許Wafer保留
(薄LeviZac4寸)
Wafer 可固定在外周 3mm 以內
(薄LeviZac4寸)
Wafer 可固定在外周 3mm 以內
(薄LeviZac4寸)
可輸送到較窄的紙盒寬度
(佩里扎克 12寸)
Wafer 可固定在外周 3mm 以內
(佩里扎克8寸)
Wafer 可固定在外周 3mm 以內
(尤尼扎克空氣 12 寸)
對有機除氣也有效
(尤尼扎克空氣 8寸)
對有機除氣也有效
(UniZac-air 8寸(1mm厚版))
1毫米厚中空一體式轉吸手
(UniZac-air 8寸)
1.9毫米厚中SiC空一體式轉吸手
(UniZac-air 8寸)
1.9毫米厚中SiC空一體式轉吸手
(UniZac-托盤 12寸)
實現減重瘦身
(UniZac-托盤 8寸)
實現減重瘦身
(UniZac-托盤 4寸)
實現減重瘦身
(UniZac-Pair 12寸)
能夠保持輕微翹曲的晶圓
(UniZac-Pair 8寸)
能夠保持輕微翹曲的晶圓
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