專業提供陶瓷晶圓搬運手臂、多孔陶瓷吸盤

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CERAMICS DESIGN LAB > 設計提案案例

「燒結用陶瓷墊板」列表

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2022.12.05
對工件的影響小且透氣性好的多孔定位器的提案

按產品類別：燒結用陶瓷墊板

按提案成果：抑制接觸損傷,改進的功能,減少不良率,提高產量

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- 變形
- 成本
- 粒子
- 電導率
- 吸痕
- 靜電
- 大型偏光フィルムの吸着
- 翹曲的晶圓
- 生產率（吞吐量）
- 雜質
- 火花
- 晶圓划痕
- 產品更換工時
- 放氣
- 表面電阻
- 晶圓貼合
- 反射率
- 透氣性
- 棉絨的附著力
- 錯位
- 堵塞
- 抗等離子
- 成品率
- 接觸損壞
- 產品壽命
- 粉塵產生
- 不良率
- 耐熱
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- 磨耗
- 功能性
- 耐化學性
- 耐腐蝕性能
- 薄ウェハ
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