「晶圓翹曲對策」 列表
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2023.03.07Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 晶圓翹曲對策,防止錯位,改進的功能
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2022.12.05可夾持翹曲晶圓並防止錯位的伯努利手提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 晶圓翹曲對策,防止錯位,改進的功能,提高產量
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2022.12.05翹曲/薄晶圓移送手提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 晶圓劃傷預防,晶圓翹曲對策,吸附疤痕抑制,提高產量,粒子測量
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2022.12.05可吸附搬運翹曲晶圓的帶PAD手的提案
按產品類別： 晶圓傳送手PAD
按提案成果： 晶圓翹曲對策,提高生產率（提高吞吐量）
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2022.12.05
靜電對策的PAD提案
按產品類別： 晶圓傳送手PAD
按提案成果： 晶圓劃傷預防,晶圓翹曲對策,靜電對策,減少不良率
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