Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 晶圓翹曲對策,防止錯位,改進的功能
可夾持翹曲晶圓並防止錯位的伯努利手提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 晶圓翹曲對策,防止錯位,改進的功能,提高產量
翹曲/薄晶圓移送手提案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 晶圓劃傷預防,晶圓翹曲對策,吸附疤痕抑制,提高產量,粒子測量
可吸附搬運翹曲晶圓的帶PAD手的提案
按產品類別: 晶圓傳送手PAD
按提案成果: 晶圓翹曲對策,提高生產率(提高吞吐量)
靜電對策的PAD提案
按產品類別: 晶圓傳送手PAD
按提案成果: 晶圓劃傷預防,晶圓翹曲對策,靜電對策,減少不良率