專業提供陶瓷晶圓搬運手臂、多孔陶瓷吸盤
made in Japan
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材料更改為黑色氧化鋁針
按產品類別: 其他
按提案成果: 提高耐磨性,提高耐熱性,改善等離子抗性
吸手腔一體化方案
按產品類別: 晶圓傳送手
按提案成果: 提高耐熱性,減少工時,長壽,降低成本,抑制放氣
晶圓搬運手的靜電和放氣對策
按提案成果: 提高耐熱性,靜電對策,表面電阻值控制,抑制放氣
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