どのようなウエハ搬送ハンドを選定してよいか、お困りではありませんか。
この技術コラムでは、当社オリジナルの搬送ハンドの選定の流れをご説明いたします。
ぜひご覧ください。
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搬送ハンドの困りごとを解決いたします！
～搬送ハンドの選定編～
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いつもお世話になり、ありがとうございます。
アスザックの中澤です。
お客様から、どのようなウエハ搬送ハンドを選定してよいか、問い合わせを頂くことがあります。そこで、今回のメルマガでは、搬送ハンドの選定にお困りのお客様向けに、弊社オリジナルの搬送ハンド選定の流れをご紹介いたします。ぜひご覧ください。
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はじめに、ハンドリング方式を選定します。
ハンドリング方式には、トレイ式、吸着式、ベルヌーイ式の3種類があります。ウエハの搬送方式に応じて、選定します。
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ハンドの凹部内にウエハを落とし込む方式 (すくい上げ方式）
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真空機能を使用せず、ウエハを水平方向に搬送させる場合に使用します。
ウエハの反転動作はできません。
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真空機能を使用して、ウエハを吸着し、ウエハを搬送させる場合に使用します。ウエハの反転動作ができます。搬送速度が速いです。
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圧縮空気を使用して、負圧を発生させ、ウエハを保持し、ウエハを搬送させる場合に使用します。ウエハの反転動作ができます。
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ハンドリング方式が決まったら、オリジナルハンドを選定します。
使用環境やウエハの吸着箇所に応じて、以下のラインアップから選定します。
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特徴
・ウエハとの接触面積が少ない
・ワークにダメージを与えにくい
・薄型化が可能
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特徴
・薄ウエハを平滑面で吸着できる
・吸着痕が付きにくい
・薄く柔軟性のある反りウエハが
吸着できる
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特徴
・ウエハの負荷が低減できる
・外周のガイド以外は非接触を
実現
・薄型化が可能
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静電気対策のコーティングやセンサー溝の加工、PADの取り付けが選定できます。3種類のオプション内容があります。
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特徴
・パーティクル対策
・ウエハへのダメージ低減
・高温環境下での使用
・糸くず対策
・PFAS対応
・フッ素レス
・象牙色と黒色のコーティング
・静電気対策に有効な表面抵抗値
（1.0×10^6～1.0×10^10Ω）を
カバー
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特徴
以下の用途向けのセンサー溝加工ができます。
・ウエハの位置ズレ検出用
・ウエハの傾き検出用
・ウエハの落下検出用
・ウエハの飛び出し検出用
・ウエハマッピング用
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特徴
・ウエハの位置ずれ防止
・ウエハへの傷防止
・PADがウエハに張り付きにくい
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