通過將晶圓傳送手持部分改造為 PAD 來降低成本
按產品類別: 晶圓傳送手PAD
按提案成果: 減少工時,降低成本,改進的功能,提高生產力,耐磨性
通過PAD表面處理防止晶圓粘附問題的提案
按產品類別: 晶圓傳送手PAD
按提案成果: 晶圓劃傷預防,防止錯位,抑制接觸損傷,提高產量
可吸附搬運翹曲晶圓的帶PAD手的提案
按產品類別: 晶圓傳送手PAD
按提案成果: 晶圓翹曲對策,提高生產率(提高吞吐量)
靜電對策的PAD提案
按產品類別: 晶圓傳送手PAD
按提案成果: 晶圓劃傷預防,晶圓翹曲對策,靜電對策,減少不良率